其測量原理是利用慣性質(zhì)量塊在外加速度的作用下與被檢測電極間的空隙發(fā)生改變從而引起等效電容的變化來(lái)測定加速度的。

 

ENDEVCO變電容加速度傳感器是如何工作的

線(xiàn)加速度計的原理是慣性原理，也就是力的平衡，只需要測量F就可以了。就可以得到F對應于電流的關(guān)系。只需要用實(shí)驗去標定這個(gè)比例系數就行了。當然中間的信號傳輸、放大、濾波就是電路的事了。

 

現代科技要求ENDEVCO變電容加速度傳感器廉價(jià)、性能*、易于大批量生產(chǎn)。在諸如軍工、空間系統、科學(xué)測量等領(lǐng)域，需要使用體積小、重量輕、性能穩定的加速度傳感器。以傳統加工方法制造的ENDEVCO變電容加速度傳感器難以全面滿(mǎn)足這些要求。

于是應用新興的微機械加工技術(shù)制作的微加速度傳感器應運而生。這種傳感器體積小、重量輕、功耗小、啟動(dòng)快、成本低、可靠性高、易于實(shí)現數字化和智能化。而且，由于微機械結構制作、重復性好、易于集成化、適于大批量生產(chǎn)，它的性能價(jià)格比很高?？梢灶A見(jiàn)在不久的將來(lái)，它將在加速度傳感器市場(chǎng)中占主導地位。

ENDEVCO變電容加速度傳感器有壓阻式、壓電式、電容式等形式。